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產(chǎn)品名稱:
化學(xué)藥液專用單組分濃度計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):
FUD-1 Model-13
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
化學(xué)藥液專用單組分濃度計(jì)FUD-1 Model-13，易于維護(hù)和高精度在線測(cè)量，但具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。
化學(xué)藥液專用單組分濃度計(jì)
的詳細(xì)介紹
FUJI富士工業(yè) 化學(xué)藥液專用單組分濃度計(jì)FUD-1 Model-13
單組分濃度計(jì)特點(diǎn)
可實(shí)時(shí)測(cè)量濃度，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)建簡(jiǎn)單。模擬DC4-20mA和數(shù)字RS232C是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出
標(biāo)準(zhǔn)配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示
小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產(chǎn)線上。
接液部件材質(zhì)采用PFA，小產(chǎn)量設(shè)計(jì)對(duì)化學(xué)溶液無(wú)影響。
優(yōu)點(diǎn)
可實(shí)現(xiàn)高精度連續(xù)測(cè)量
免維護(hù)，無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn)
安裝方便，安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整
通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋流程
目的
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CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等
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稀釋過(guò)程中各種化學(xué)品濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）
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清洗過(guò)程中清洗液濃度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA等）
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蝕刻過(guò)程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）
